[시사뉴스 김미현 기자] 넥스틴은 'ChangXin Xinqiao Memory Technologies'와 147억9088만원 규모의 Wafer Inspection System 공급계약을 체결했다고 1일 공시했다.

넥스틴이 147억9088만원 규모의 웨이퍼 검사 시스템(Wafer Inspection System) 공급계약을 중국 D램 제조사인 ‘창신메모리(ChangXin Xinqiao Memory Technologies)’와 체결했다고 1일 공시했다

. 계약금액은 최근 매출액 대비 25.9%에 해당한다. 계약기간은 이날부터 오는 12월15일까지다.

넥스틴이 극자외선 공정 분야에 진출. 초미세 회로 불량을 일으키는 '미세 정전기' 제거 장비를 개발했다.

EUV 공정에 쓸 수 있는 미세 정전기 제거 장비 '레스큐'로 알려진 이 장비는 하반기 공급을 목표로 하반기 고객사에서 양산 성능 평가에 들어간다.

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반도체 제조에서 정전기 제거는 필수다. 순간적인 전압으로 반도체가 망가지기 때문이다. 기존에는 공기 이온을 이용, 정전기를 중화하는 방법이 활용됐지만 이는 100나노 안팎 성숙 공정에서 주로 활용됐다.

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EUV공정은 10나노 이하 초미세 회로를 구현해야 하는 만큼 보다 작은 정전기를 제거해야 하는데, 넥스틴은 독자 기술로 미세 정전기를 중화하는 장비를 만들었다.

EUV 공정에서는 박막을 형성할 때 미세 정전기가 발생할 가능성이 큰 것으로 알려졌다.

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반도체 전 공정에 적용되는 패턴 검사 장비를 개발, 판매해온 넥스틴은 신장비로 첨단 메모리와 파운드리 시장을 공략할 계획이다.

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넥스틴은 EUV용 장비 외 전 세대 대비 처리량(스루풋)이 30% 개선된 신형 검사 장비도 개발했다. 초미세 패턴 결함과 이물질을 검사하는 용도다.

이 밖에 3차원 메모리 검사 장비와 전체 공정을 신속 검사하는 매크로 장비도 개발을 마쳐 고객사 평가를 앞두고 있다.

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넥스틴은 장비 생산 능력을 확대하기 위해 최근 신규 클린룸을 마련, 장비 생산 능력을 2배 이상 확대한다는 계획이다.