최적화 공정상태 회복에 최소 수십일 걸려

[시사뉴스 김성훈 기자] 삼성전자가 기록적인 한파로 전력공급 차질을 빚어 가동을 멈춘 미국 텍사스주 오스틴 반도체 공장에 기술진 수십명을 급파한다.

삼성전자 오스틴 공장 셧다운은 지난 16일부터 오스틴시가 난방 전력 수요가 급증하자 현지 기업들에게 공장 가동 중단을 요청했기 때문이다. 이번 셧다운은 사전 통보를 받아 사전조치를 했지만, 공장 가동 중단에 따른 피해는 불가피할 것으로 보인다.

19일 업계에 따르면, 반도체 생산 공정은 1년 365일 멈추지 않고 계속 가동된다. 수백 단계의 공정을 거쳐야 하는 반도체 제조 특성상 한 부분이 멈추면 연쇄적으로 다른 공정에도 영향을 끼쳐 문제가 발생할 수 있기 때문이다.

일단 정전이 발생해 장비 가동이 중단되면 전 공정을 진행 중이던 웨이퍼들에게 치명적이다. 정전이 발생하는 즉시 증착 및 식각장비 내부에 있는 웨이퍼들은 불량이 발생할 수 있기 때문에 폐기 처분해야 한다.

사전 고지를 통해 폐기 처분을 하는 웨이퍼가 적었다 하더라도 한번 공정이 멈출 경우 떨어진 수율과 생산량을 다시 끌어 올리고, 최적회된 상태로 공정 상태를 회복하는 데 짧게는 수십일, 길게는 수 개월의 시간이 필요하다.

반도체 공정에 사용되는 장비는 장비내 미세한 가스압력과 온도 등에 영향을 받는다. 한번 공장을 멈췄다 재가동할 땐 생산수율이 기존의 80% 수준에 그치는 것으로 알려졌다. 이 때문에 단 1분에서 1시간 사이의 정전이라 하더라도 피해액은 수백~수천억에 달한다.

이 때문에 반도체 공장들은 갑작스런 정전에 대비할 수 있도록 비상 전력 시스템을 갖추고 있다. 하지만 갑작스런 재해나 사고가 발생할 경우 완벽하게 대체 전력을 공급하지 못하는 경우도 많고, 수율 문제로 곧바로 전력이 공급된다 해도 재가동엔 시간이 걸린다.

삼성전자는 향후 오스틴 공장 재가동시 이 과정에 소요되는 시간을 최소화 하기위해 기술진들을 이번 주부터 파견한다